Reaktor - optimering vir die vervaardiging van homogene grootoppervlak amorfe silikon-sonselle
Suid-Afrikaanse Tydskrif vir Natuurwetenskap en Tegnologie/South African Journal of Science and Technology
| Field | Value | |
| Title | Reaktor - optimering vir die vervaardiging van homogene grootoppervlak amorfe silikon-sonselle Reactor optimisation for the production of homogeneous large area amorphous silicon solar cells on flexible substrates | |
| Creator | Saunderson, J. D. | |
| Description | Resultate word aangebied betreffende die optimering van die konfigurasie binne-in ’n grootoppervlak-loodsaanlegreaktor vir die vervaardiging van dunlagies gehidrogeneerde amorfe silikon (a-Si: H). Die basiese ontwerp van die groeireaktor word bespreek, en die korrelasie tussen die konfigurasie binne die groeireaktor en die homogeniteit van die materiaal word gedemonstreer. Daar word aangetoon dat die homogeniteit hoofsaaklik bepaal word deur die vorm van die antenne, die afstand tussen die antenne en die substraat, die rigting en posisionering van die gasinlaat en die verdunning van die reaksiegasse met waterstof. 'n Homogeniteitsfaktor van 2,5% is verkry oor ’n substraatoppervlakte van 320 mm x 300 mm. Results are presented on the optimisation of the configuration of a large area pilot plant for the production of thin films of hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H). The basic design of the reactor is discussed, and the correlation between the configuration inside the reactor and the resulting homogeneity of the material is demonstrated. It is indicated that the homogeneity is mainly determined by the shape of the antenna, the distance between the antenna and the substrate, the direction and position of the gas inlet and the dilution of the reactive gasses with hydrogen. A homogeneity factor of 2,5% was obtained across a substrate area of 320 mm x 300 mm. | |
| Publisher | AOSIS | |
| Date | 1998-07-12 | |
| Identifier | 10.4102/satnt.v17i2.690 | |
| Source | Suid-Afrikaanse Tydskrif vir Natuurwetenskap en Tegnologie; Vol 17, No 2 (1998); 57-60 Suid-Afrikaanse Tydskrif vir Natuurwetenskap en Tegnologie; Vol 17, No 2 (1998); 57-60 2222-4173 0254-3486 | |
| Language | eng | |
| Relation |
The following web links (URLs) may trigger a file download or direct you to an alternative webpage to gain access to a publication file format of the published article:
https://journals.satnt.aosis.co.za/index.php/satnt/article/view/690/1260
|
|
ADVERTISEMENT
